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馬爾文帕納科晶圓分析儀2830 ZT提供了用于測(cè)量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 專門針對(duì)半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)而設(shè)計(jì)，該儀器可為多種晶片（厚達(dá) 300 mm）測(cè)定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。
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